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原子%
重量%
素子
50.73
34.84
シリコン(Si)
49.27
65.16
酸素(O)
SiO₂組成
TSS-0015はD50 0.7〜1.5 µmのサブミクロン球形シリカ粉末です。この粒径では50 µm以下のギャップに自由に流入し、狭いスペースを目詰まりなく充填します。5.0〜7.0 m²/gの高い比表面積により、ポリマーマトリックスに対する広いシリカ接触面積を確保し、ダイアタッチ用途における接着性に寄与します。球形粒子形状は樹脂コンパウンドに高い充填密度と加工時の優れた流動性をもたらします。シリカの低誘電損失と低熱膨張係数と相まって、TSS-0015は先端半導体パッケージングの電気的・機械的要求を満たします。
主要アプリケーション
アンダーフィルコンパウンド
ダイアタッチフィルムおよびペースト
液状封止材
半導体パッケージ基板フィラー
エポキシ成形コンパウンド(EMC)
特徴
サブミクロンD50(0.7〜1.5 µm):狭ギャップアンダーフィルおよびファインピッチダイアタッチに対応
高SSA(5.0〜7.0 m²/g):ポリマーマトリックスとの強固な結合
球形形態:樹脂系における高充填率と優れた流動性
高イオン純度:信頼性重視の半導体パッケージング向け
TSS-0015
非晶質
粒子タイプ
球形
粒子の形状
0.7 ~ 1.5 µm
粒子径D50
5.0 ~ 7.0 m²/g
比表面積
≤ 20 µS/cm
電気伝導率
4.0 ~ 6.0
pH値
≤ 0.3%
水分
-
バインダーの内容
二酸化ケイ素
化学名
SiO₂
式
粉
形
60676-86-0
CAS番号
白
色
≥95%
純度
1600 to 2200 °C
融点
2.2 g/cm3
密度
不純物
Na⁺
≤ 2 ppm
Cl⁻
≤ 2 ppm
Fe₂O₃
≤ 60 ppm
SEM写真
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